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汞燈平行光源

關鍵性詞：

汞燈成平行線面光源

詢問服務熱線：

025-52657056

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應運于：

半導體(ti)晶元光(guang)(guang)(guang)刻和(he)(he)高(gao)(gao)精度PCB板(ban)曝光(guang)(guang)(guang)等。以高(gao)(gao)壓(ya)短弧(hu)球(qiu)形汞燈作(zuo)為光(guang)(guang)(guang)源(yuan)，采(cai)用了(le)柱體(ti)蠅眼透鏡和(he)(he)高(gao)(gao)能力集光(guang)(guang)(guang)的(de)橢球(qiu)反射(she)鏡及(ji)拋物反射(she)鏡等光(guang)(guang)(guang)學鏡組形成面光(guang)(guang)(guang)源(yuan)，實現波(bo)長365nm的(de)紫外光(guang)(guang)(guang)（i線(xian)為主），光(guang)(guang)(guang)束垂直照射(she)于半導體(ti)光(guang)(guang)(guang)刻機掩膜板(ban)進行芯片(pian)光(guang)(guang)(guang)曝光(guang)(guang)(guang)，光(guang)(guang)(guang)能利用率(lv)高(gao)(gao)，光(guang)(guang)(guang)強分(fen)布均勻。

性能指標叁數：

序號順序	該項目	能符合要求
1	尺寸	HGUV-365-D6-400-AC
2	點光源	低壓短弧汞燈
3	燈光面積	>160x160mm（可個性定制）
4	操作可見光波長	主波(bo)長365nm
5	照明燈具不粗糙性	<3%
6	燈飾難度	>30 mW/cm2 @ 365nm
7	準直角（C Angle）	<2.5°
8	傾(qing)斜(xie)角（D Angle）	<0.3°
9	崗位距	300-400mm
10	溫度/能(neng)量反(fan)饋	燈室溫度實時(shi)檢測/光路能量實時(shi)監測
11	燈源改善	光(guang)源位(wei)置可電控調節，X向：±5mm，Y向：±5mm，Z向：10mm
12	降溫辦法	風冷或水冷散熱器